ZEISS蔡司蔡司高分辨场发射扫描电镜SIGMA 360 多探测器配置

ZEISS蔡司蔡司高分辨场发射扫描电镜SIGMA 360是一款兼顾高分辨率与优异低电压性能的场发射扫描电子显微镜。该产品采用肖特基场发射电子枪与专利GEMINI镜筒技术，能够在低加速电压下实现样品极表面形貌及成分衬度成像，适用于不导电样品、电子束易损伤样品以及磁性样品等多种类型材料的观察与分析。ZEISS蔡司蔡司高分辨场发射扫描电镜SIGMA 360在探测器配置、样品仓容量及扩展能力方面均有较为完整的设计，可满足材料科学、生命科学及工业检测等领域的多样化需求。

多探测器协同成像能力

SIGMA 360配备完善的探测器系统。镜筒内正光轴上360度高效环形二次电子探头Inlens SE，可在低电压条件下获取样品极表面的高分辨形貌信息。样品室二次电子探测器E-T SE提供常规形貌观察能力，样品室高分辨背散射探测器HDBSD则用于成分衬度成像。此外，彩色CCD探测器可实时观察样品台高度，有效防止碰撞；高清光学导航相机探测器用于样品的快速定位与导航。多种探测器协同工作，实现了完整的信号采集，为用户提供形貌、成分等多维度信息。

大仓室设计与扩展性能

该机型拥有同级别中较大的样品仓室，内部直径365mm，最大高度275mm，可容纳最大直径250mm、最大高度180mm的样品，最大样品重量5kg（仅在XY方向移动条件下）。样品台X方向移动行程140mm，Y方向130mm，Z方向100mm，T轴倾斜范围-20°至90°，R轴可实现360°连续旋转。抽屉式大仓门设计配合九孔导航式样品台，可同时观察更多样品，减少开仓换样次数，提升工作效率。X射线出射角35°条件下，能谱仪最佳分析工作距离为8.5mm。设备预留EDS、EBSD和WDS接口，可搭配牛津能谱仪及原位加热、拉伸等附件，实现样品多维度分析研究。样品触碰极靴安全警报装置的配置进一步提升了操作安全性。