东机工TOKICO FUBB8A-KW-ACA-TX4G超声波涡街流量计：高纯净流体的精密测量利器

在半导体湿法清洗、超纯水输送及化学品精确供给等高端制造环节中，流量的精准控制直接决定了产品质量与工艺良率。日本东机工（TOKICO）株式会社推出的FUBB8A-KW-ACA-TX4G超声波涡街流量计，凭借PFA树脂一体成型接液结构与非接触式超声检测技术，为化学液体、腐蚀性流体及超纯水等介质的测量提供了可靠、高效的解决方案。

一、核心参数

FUBB8A-KW-ACA-TX4G属于TOKICO超声波涡街流量计PFA系列，是一款仅用于液体的流量计。其主要技术规格如下：

数据综合自岩濑商事、Nissin Hi-Tech等授权代理商公开技术规格。

二、测量原理：卡门涡街的精准捕捉

FUBB8A-KW-ACA-TX4G基于卡门涡街原理，在流路中设置涡流发生体，当流体流过时会在下游产生交替脱落的有规律涡旋。设备利用高频超声波传感器以非接触方式检测涡旋频率，由于涡旋脱落频率与流速成正比，经换算即可获得精确的流量值。整个测量系统无可动机械零件，从根本上消除了机械磨损带来的精度衰减，可靠性高，几乎无需维护。

三、PFA接液部：极致纯净与耐腐蚀

FUBB8A-KW-ACA-TX4G的接液部分采用PFA树脂一体成型，除管道连接外无任何密封件或凹陷结构，彻底消除了液体滞留和交叉污染的风险。PFA分子结构中的全氟碳链赋予其出色的耐化学性，即使在260℃高温环境下仍能保持物理性能稳定。此外，放大器外壳同样采用树脂材质，在测量化学液体时亦具备良好的耐腐蚀性能。

四、抗干扰与智能输出

高频超声波传感器不受管道振动等机械噪声的影响，配合双检测技术可有效抑制管线振动干扰信号。设备具备IP65防护等级，可适应潮湿、粉尘等恶劣环境，支持LED显示，并提供NPN/PNP脉冲、4-20mA模拟信号及MODBUS通信输出，支持RS-485接口，可直接与微机联网，实现生产流程的远程监控与数据追溯。

五、典型应用场景

FUBB8A-KW-ACA-TX4G主要面向高纯净流体的精密测量：半导体晶圆清洗过程中化学溶液的流量控制；化工行业腐蚀性液体、超纯水的计量；以及食品医药领域高洁净度介质的输送监测。其无密封件、无滞留的PFA结构，使其成为这些高要求场景的理想选择。

六、品牌简介

东机工（TOKICO）株式会社成立于1949年，总部位于日本川崎市，是世界知名的汽车零部件制造商及精密测量仪器研发企业。其流量计产品线涵盖超声波涡街流量计、涡轮流量计、根流量计等多种类型，尤其在半导体制造与化学品测量领域拥有超过20年的丰富经验，产品被广泛应用于亚洲市场的湿法清洗设备和单晶圆设备中。

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